Hexafluorobutadiene-1 3 C4F6 CAS: 685-63-2 99.99% 4N Semiconductor/Wafer Etching Materials

Hexafluorobutadiene-1 3 C4F6 CAS: 685-63-2 99.99% 4N Semiconductor/Wafer Etching Materials

Produktanvändning

Hexafluorobutadiene-1 3 (C ₄ F ₆ ) är en slags färglös, luktfri och vattenolöslig gas. Vid normal temperatur och tryck är dess smältpunkt 132,0 ℃, kokpunkten är 5,9 ℃. Perfluorobutadiene är en slags konjugerade olefiner som innehåller sex fluoratomer och två kol-kol-dubbelbindning, som en slags utmärkt etsningsgas, på grund av dess unika F/C-förhållande, hexafluorobutadiene-1 3 har högre etsning, noggrannhet och aspektförhållande Än de av traditionella perfluorerade mättade fluorokarbon etsningsgas kan hexafluorobutadiene-1 3 etsas mindre än 100 nm ännu smalare elektronisk krets. Dessutom har C4 _F 6 _ett högre selektivt förhållande av fotoresist och kiselnitrid än för C4 _F 8 _, vilket kan förbättra etsningsstabiliteten, etsningshastigheten och enhetligheten och därmed förbättra produktkvaliteten.

Produktparameter

Ansökan

Används som etsningsgas för plasmaetsning av halvledarprodukter.

Förpackning och lagring

Hexafluorobutadiene-1 3 fylls i stålcylindrar med modellen av B10, storlek på 14 cm × 83 cm, den inre volymen på 10,1L, bruttovikt på 14,7 kg, nyttolast på 10 kg. Förpackningsspecifikationer kan anpassas enligt kundernas krav.

Shandong Zhongshan Electronic Materials Co., Ltd. är ett nationellt högteknologiskt företag som integrerar FoU, pilotprovning och industrialisering, med en total investering på 1,3 miljarder yuan. Företagets litiumkolfluoridbatteri är listat som ett stort byggprojekt i Shandong-provinsen 2020. Det har innovativt utvecklat höga specifika energilitiumkolfluoridbatterier och deras nyckelmaterial och är den första som uppnår storskalig produktion av kolfluoridkatodmaterial i Kina. Producera. Huvudprodukterna är litiumfluorerade kolbatterier (BR), speciella funktionella fluorokollmaterial (fluorerad grafit, fluorerade grafenseriematerial); Grafit- och grafen härledda material, fluorinnehållande serie elektroniska material; Boron-11-seriematerial som används i processen, Boron-10 neutron absorberande material och andra stabila isotopmaterial. Produkter används allmänt inom strategiska tillväxtindustrier som integrerade kretschips i ultravagda skala, nya energibatterier, nya halvledaranordningar, kärnkraftssäkerhet, smörjmedel (fett), antikorrosion och antifoulingbeläggningar och biomedicin.

Produktkategorier av halvledarprocessmaterial, vi är specialiserade tillverkare från Kina, fluorerade elektroniska specialgaspriser, fluorinnehållande elektroniska specialgasmarknadsleverantörer/fabrik, grossist av hög kvalitet av fluorinnehållande fina kemikalier Material Tillverkare R & D och tillverkning, Vi har den perfekta tjänsten efter försäljning och teknisk support. Ser fram emot ditt samarbete!